YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
内容简介
行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等、
起草人
董亭义、何金江、
相近标准
集成电路用高纯铜合金靶材20182007-T-610集成电路用高纯铜合金靶材GB/T39159-2020集成电路用高纯铜合金靶材GB/T17940-2000半导体器件集成电路第3部分:模拟集成电路GB/T12842-1991膜集成电路和混合膜集成电路术语20030159-T-339半导体器件集成电路第2-20部分：数字集成电路低压集成电路族规范GB/T17574.20-2006半导体器件集成电路第2-20部分：数字集成电路低压集成电路族规范20020171-T-339半导体器件集成电路第5部分：半定制集成电路GB/T17574-1998半导体器件集成电路第2部分:数字集成电路GB/T20515-2006半导体器件集成电路第5部分：半定制集成电路
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