标准详情
- 标准名称：rd4500型离心干燥机完好要求和检查评定方法
- 标准号：SJ/T 31062-1994
- 中国标准分类号：CCS11,
- 发布日期：1997-01-01
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1997-01-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：电子元器件与信息技术电子工业生产设备检验专用设备
SJ/T 31062-1994 rd4500型离心干燥机完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定了RD-4500型离心干燥机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于RD-4500离心干燥机。其它半导体器件、集成电路生产用的类似结构离心干燥机亦可参照执行。
起草单位
起草人
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