标准详情
- 标准名称：半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
- 标准号：SJ 3249.2-1989
- 中国标准分类号：CCS1,
- 发布日期：1989-03-20
- 国际标准分类号：441.457.
- 实施日期：1989-03-25
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3249.2-1989 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
内容简介
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳含量的红外吸收测量原理,仪器设备,样品制备,测量步骤,结果计算和精度。 本标准适用于测定半绝缘砷化镓单晶中替位碳含量,其最低检测限为4.0×10^(14)cm^(-3)
起草单位
起草人
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