标准详情
- 标准名称：同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法
- 标准号：SJ 3247-1989
- 中国标准分类号：CCS1,
- 发布日期：1989-03-20
- 国际标准分类号：441.457.
- 实施日期：1989-03-25
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3247-1989 同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法
内容简介
本标准规定了与衬底同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测量原理,仪器设备,样品制备测量步骤,结果计算和精度。 本标准适用于与衬底同型砷化镓外延层厚度的测量,衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.02Ω cm和大于0.1ΩZ·cm,可测厚度大于2μm。
起草单位
起草人
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