GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum coating plant generic specification
内容简介
国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位
北京北仪创新真空技术有限责任公司、兰州真空设备有限责任公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等、上海曙光机械制造厂有限公司、成都南光机器有限公司、
起草人
陈月增、谢钧荣、温发兰、范立群、孙凯、
相近标准
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