标准详情
- 标准名称：化学气相淀积(cvd)设备通用规范
- 标准号：SJ 20984-2008
- 中国标准分类号：CCS11,
- 发布日期：2008-04-15
- 国际标准分类号：522.558.
- 实施日期：2008-06-30
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：电子学电子设备用机械构件电子元器件与信息技术电子工业生产设备电子工业生产设备综合
SJ 20984-2008 化学气相淀积(cvd)设备通用规范
内容简介
本规范规定了化学气相淀积设备的要求、质量保证规定、交货准备。本规范适用于电子行业中光电子、微电子器件的研制和生产的化学气相淀积设备,其它行业的类似设备也可参照执行。
起草单位
起草人
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