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XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

XB/T 515-2020

行业标准-稀土推荐性

标准详情

  • 标准名称:钪铝合金靶材
  • 标准号:XB/T 515-2020
    中国标准分类号:H65
  • 发布日期:2020-12-09
    国际标准分类号:77.120.99
  • 实施日期:2021-04-01
    技术归口:
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金有色金属其他有色金属及其合金制造业稀土

内容简介

行业标准《钪铝合金靶材》,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。

起草单位

起草人

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