NF C96-050-12-2012 标准详情
- 标准号：NF C96-050-12-2012
- 中文标题：半导体器件 - 微型机电装置 - 第12部分: 使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法.
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12 : bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures.
- 标准类别：法国国家NF
- 发布日期：2012-07-01
