YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
内容简介
行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定范围下限为0.002%。
起草单位
中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、
起草人
刘新军、刘英杰、郑华荣、
相近标准
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