SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
内容简介
行业标准《光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子节能技术协会、
起草人
张倩、石少青、辛士卓、
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