标准详情
- 标准名称:玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
- 标准号:GB/T 33826-2017
- 中国标准分类号:Q34
- 发布日期:2017-05-31
- 国际标准分类号:71.040.99
- 实施日期:2017-12-01
- 技术归口:全国纳米技术标准化技术委员会
- 代替标准:
- 批准发布部门:中国科学院
- 标准分类:化工技术分析化学有关分析化学的其他标准
国家标准《玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报,TC279SC1(全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分会)执行,主管部门为中国科学院。
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