SJ/T 11501-2015 碳化硅单晶晶型的测试方法
内容简介
行业标准《碳化硅单晶晶型的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了利用拉曼光谱测定碳化硅单晶的结晶类型的方法。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
丁丽、郝建民、周智慧、
相近标准
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