JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉
内容简介
行业标准《TDL-GX硅芯生长炉》由全国工业电热设备标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等、
起草人
陈巨才、朱琳、
相近标准
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