标准详情
- 标准名称:重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
- 标准号:SJ 3248-1989
- 中国标准分类号:CCS1,
- 发布日期:1989-03-20
- 国际标准分类号:441.457.
- 实施日期:1989-03-25
- 技术归口:
- 代替标准:
- 批准发布部门:
- 标准分类:综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理,仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。 本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度,也适用于测量外延层的载流子浓度。
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