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ENV 50 219-1996 欧洲微型试验芯片可靠性试验结构描述

ENV 50 219-1996 欧洲微型试验芯片可靠性试验结构描述

ENV 50 219-1996 标准详情

  • 标准号:ENV 50 219-1996
  • 中文标题:欧洲微型试验芯片可靠性试验结构描述
  • 英文标题:Description of the Reliability Test Structures of the European Mini Test Chip -
  • 标准类别:欧盟标准EN
  • 发布日期:1996-01-01

内容简介

Gives a minimum set of test structures for a fast reliability assessment of emerging CMOS technologies down to 0.5 [mu]m.

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