T/CEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚

内容简介

本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长用石英坩埚本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长用石英坩埚。