GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
Laser lift-off equipment used for GaN
GB/T 37466-2019
国家标准推荐性
内容简介
国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、
起草人
孙永健、刘鹏、汪青、丁晓民、冯亚彬、
相近标准
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