当前位置:主页行业标准

SJ 1550-1979 硅外延片检测方法

SJ 1550-1979 硅外延片检测方法

SJ 1550-1979

行业标准-电子强制性

标准详情

  • 标准名称:硅外延片检测方法
  • 标准号:SJ 1550-1979
    中国标准分类号:CCS8,
  • 发布日期:1980-03-01
    国际标准分类号:
  • 实施日期:1980-06-01
    技术归口:
  • 代替标准:
    批准发布部门:
  • 标准分类:冶金半金属与半导体材料半金属

内容简介

本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的检测方法。其检测项目有外延层电阻率、外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等

起草单位

起草人

相近标准

* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,本网站所提供的电子文本仅供参考,请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用,不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权,请及时联系我们!

相关推荐