SJ/T 31457-1994 离子水交换设备完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定了电子工业元器件生产中电子级水制造用离子交换设备完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子元器件,集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的离子交换设备
起草单位
国营华东电子管厂
起草人
沈鹏
相近标准
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