标准详情
- 标准名称:半导体设备电源接口
- 标准号:GB/T 15872-2013
- 中国标准分类号:L23
- 发布日期:2013-12-17
- 国际标准分类号:31.220.10
- 实施日期:2014-05-15
- 技术归口:全国电子测量仪器标准化技术委员会
- 代替标准:GB/T 15872-1995
- 批准发布部门:工业和信息化部(电子)
- 标准分类:电子学连接器电子电信设备用机电元件插头和插座装置
国家标准《半导体设备电源接口》由TC153(全国电子测量仪器标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。
中国人民解放军空军雷达学院、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
朱忠尼、亓迎川、梅昌义、祁承超、
20064394-T-339半导体设备电源接口GB/T15872-1995半导体设备电源接口20141881-T-469半导体设备安全标识要求SJ/T11762-2020半导体设备制造信息标识要求300mm半导体设备装载端口要求20141882-T-469半导体设备电压暂降抗扰度要求20153730-T-469300mm半导体设备装载端口要求SJ/T11761-2020200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范GB/T5226.33-2017机械电气安全机械电气设备第33部分:半导体设备技术条件20111071-Q-604机械电气安全机械电气设备第33部分:半导体设备技术条件
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