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T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

团体标准推荐性

本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片
注：碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底
本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注：　碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。

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