- 标准名称：真空卷绕镀膜设备通用技术要求
- 标准号：T/GVS 010-2022
- 中国标准分类号：J78/C344
- 发布日期：2022-09-23
- 国际标准分类号：23.160
- 实施日期：2022-09-23
- 团体名称：广东省真空学会
- 标准分类：泵阀门压缩机及类似机械制造
T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求
T/GVS 010-2022
团体标准推荐性现行内容简介
本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存
本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备
规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。
起草单位
广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司。
起草人
朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高。
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