T/ZACA 047-2022 电镀金刚石线锯
内容简介
本文件适用于标称直径35μm、38μm的硅片用电镀金刚石线锯
本文件规定了电镀金刚石线锯（以下简称金刚石线锯）的术语和定义、产品规格、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
起草单位
浙江新瑞欣科技股份有限公司、浙江省质量合格评定协会、福建工程学院、盛荣新材料科技（嘉兴）有限公司、杭州科派知识产权管理有限公司、杭州新林达自动化科技有限公司。
起草人
陈吉兵、陈康、王国宇、史少礼、庞杰、章葛华、季昆、吴昊、黄春明、张成斌、潘蝶。
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