T/ZACA 041-2022 混合信号半导体器件测试设备
内容简介
本文件适用于数字芯片、模拟芯片、数模混合芯片等半导体器件功能和性能测试设备
本文件规定了混合信号半导体器件测试设备（以下简称测试设备）的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存。
起草单位
杭州加速科技有限公司,通富微电子股份有限公司、华天科技（西安）有限公司、长三角集成电路工 业应用技术创新中心、矽力杰半导体技术（杭州）有限公司、北京集创北方科技股份有限公司
起草人
陈永、凌云、邬刚、王瑞金、翁正林。
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