T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法

内容简介

本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求
本文件适用于电气工作频率在100kHz～3GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品
规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。适用于电气工作频率在100kHz～3GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。