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T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

T/NLIA 002-2021

团体标准推荐性

标准详情

  • 标准名称:汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
  • 标准号:T/NLIA 002-2021
    中国标准分类号:/C3670
  • 发布日期:2021-04-26
    国际标准分类号:31.260
  • 实施日期:2021-06-01
    团体名称:武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟
  • 标准分类:汽车零部件及配件制造

内容简介

本文件规定了汽车MEMS压力传感器灌封工艺的仿真信息,包含了汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真的基本流程:仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。本文件用于指导汽车MEMS压力传感器产品的生产、供应和使用,以促进传感器工艺仿真模型的使用和灌封工艺的改良。本文件适用的汽车MEMS压力传感器产品包括:汽车胎压传感器;机油压力传感器;燃油压力传感器;燃油蒸汽压力传感器;制动真空度传感器;汽车尾排气压力传感器等。

起草单位

武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司,上达电子(深圳)有限公司,武汉华工激光工程有限责任公司,华中科技大学,中国地质大学(武汉),武汉华工赛百数据系统有限公司,深圳优艾智合机器人科技有限公司,深圳市诚亿自动化科技有限公司,深圳技术大学,武汉科技大学。

起草人

李辉,张云帆,刘胜,申胜男,曹万,孙彬,吴巍,李新宇,文龙,姜静,许瑨,冷斌,吴丹,邓明星等。

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