标准详情
- 标准名称：半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
- 标准号：T/ZZB 2283-2021
- 中国标准分类号：Q53/C309
- 发布日期：2021-08-26
- 国际标准分类号：29.050
- 实施日期：2021-09-26
- 团体名称：浙江省品牌建设联合会
- 标准分类：石墨及其他非金属矿物制品制造
T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
内容简介
本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5N（99.999wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。
起草单位
本文件由浙江省标准化研究院牵头组织制定。本文件主要起草单位：中钢新型材料股份有限公司。本文件参与起草单位：冶金工业信息标准研究院。
起草人
杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙。
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