T/JGXH 005-2020 超快激光精密微纳加工设备

内容简介

本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存
本文件适用于超快激光精密微纳加工设备的研制、生产和交付
本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。本文件适用于超快激光精密微纳加工设备的研制、生产和交付。