T/DLSHXH 007-2020 电子工业用气体 氧硫化碳
内容简介
本标准规定了电子工业用气体氧硫化碳的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。本标准适用于于以工业氧硫化碳为原料经纯化制备的电子工业用气体氧硫化碳。电子工业用气体氧硫化碳主要用于集成电路领域。分子式：COS。相对分子质量：60.07（按2011年国际相对原子质量）。
起草单位
大连科利德光电子材料有限公司、大连石油和化工行业协会
起草人
施旖旎、裴凯、石琳、毕聪智、王明月 、孙瑞玉
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请及时联系我们！
相关推荐
-
现行
-
现行
-
现行
-
现行
-
现行