T/SICA 001-2020 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
内容简介
本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时，采用集成电路制造行业废硫酸的要求，主要技术指标为，硫酸（H2SO4）≥60W/%；过氧化氢（H2O2）≤0.5W/%；铁（Fe）≤0.002W/%；透明度≥100/mm；色度，深于标准色度；灰分≤0.01W/%；砷（As）≤ 0.001W/%；铅（Pb）≤0.02W/%。
起草单位
上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司
起草人
徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆
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