T/CCGA 30004-2019 电子级八氟环丁烷
内容简介
本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体。
起草单位
苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会
起草人
金向华、许军州、洑春干、周宝军、魏入铎、庄坤华、宋芳芳
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