T/IAWBS 005-2018 6 英寸碳化硅单晶抛光片

内容简介

本标准规定了6英寸4H及6H碳化硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等
本标准适用于6英寸4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅抛光片
产品作为衬底材料主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件
本标准适用于6英寸4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅抛光片。规定了6英寸4H及6H碳化硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准规定了碳化硅抛光片的晶向为碳化硅抛光片表面取向的正交晶向偏离为：a)正晶向：0°±0.5°;b)偏晶向：碳化硅抛光片的晶向偏离为晶片表面法线沿主定位边方向偏向[1120]方向4°±0.5°或其它角度。同时本标准还规定了表面缺陷、微管密度、结晶质量、电阻率、多型、位错密度等内容。